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よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み 　 第３版 貸出可

佐藤　淳一／著 -- 秀和システム -- ２０１９．１２ -- 549.8

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タイトル よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み
副書名 ファブから検査まで製造装置を俯瞰する
シリーズ 図解入門
サブシリーズ Ｖｉｓｕａｌ　Ｇｕｉｄｅ　Ｂｏｏｋ
著者名 佐藤　淳一 ／著  
出版者 秀和システム
出版年 ２０１９．１２
ページ数等 ２６１ｐ
大きさ ２１ｃｍ
分類(9版) 549.8  
分類(10版) 549.8  
版表示 第３版
内容紹介 洗浄・乾燥装置、イオン注入装置、熱処理装置など、半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置までを、豊富なイラストを交え、現場に近い視点から解説する。
著者紹介 京都大学大学院工学研究科修士課程修了。ソニー（株）入社、半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。著書に「よくわかる最新半導体プロセスの基本と仕組み」など。 
テーマ 半導体  
ISBN 4-7980-6037-8 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
本体価格 ￥２０００
特定資料種別 図書
URL https://www.library.city.hiroshima.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1110387138

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