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ドライプロセス表面処理大全 　 未所蔵

関東学院大学材料・表面工学研究所／編 -- 日刊工業新聞社 -- ２０１９．３ -- 566.7

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タイトル ドライプロセス表面処理大全
シリーズ 技術大全シリーズ
著者名 関東学院大学材料・表面工学研究所 ／編  
出版者 日刊工業新聞社
出版年 ２０１９．３
ページ数等 ２８５ｐ
大きさ ２１ｃｍ
分類(9版) 566.7  
分類(10版) 566.7  
内容紹介 真空や大気圧下で金属、無機化合物、有機化合物などの薄膜を形成する表面処理方法であるドライプロセス。真空技術や基板前処理などの基礎、ＰＶＤ、ＣＶＤ、エッチングなどの原理を解説し、応用例や最新技術等を紹介する。
テーマ 金属表面処理 , 薄膜  
ISBN 4-526-07968-9 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
本体価格 ￥３０００
特定資料種別 図書
URL https://www.library.city.hiroshima.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1110326126

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