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ＭＥＭＳのはなし 　 貸出可

前田　竜太郎／編著 -- 日刊工業新聞社 -- ２００５．１ -- 530

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中央 参書庫 K/530/まえ/ハ 180024610M 一般書 可能 利用可

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タイトル ＭＥＭＳのはなし
シリーズ Ｓｃｉｅｎｃｅ　ａｎｄ　ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ
著者名 前田　竜太郎 ／編著, 池原　毅 ／著, 小林　健 ／著, 単　学伝 ／著  
出版者 日刊工業新聞社
出版年 ２００５．１
ページ数等 １２６ｐ
大きさ １９ｃｍ
分類(9版) 530  
分類(10版) 530  
内容紹介 電気回路、情報処理、センサ、光デバイスといった分野において頻繁に見られるようになった言葉「ＭＥＭＳ（微小電気機械システム）」。その製造方法、様々な応用と動作原理、設計手法について概説する。
著者紹介 〈前田竜太郎〉独立行政法人産業技術総合研究所先進製造プロセス研究部門マイクロ実装研究グループグループ長。工学博士。 
テーマ マイクロマシン  
ISBN 4-526-05404-6 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
定価 ￥１４００
本体価格 ￥１４００
特定資料種別 図書
URL https://www.library.city.hiroshima.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1102652896

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