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入門　真空・薄膜・スパッタリング 　 貸出可

Ｒ．Ｖ．Ｓｔｕａｒｔ／著 -- 技報堂出版 -- １９８５．１０ --

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中央 参書庫 /534.9/ＳＵ８４/ 1385121115 一般書 可能 利用可

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タイトル 入門　真空・薄膜・スパッタリング
著者名 Ｒ．Ｖ．Ｓｔｕａｒｔ ／著, 毛利　衛 ／共訳, 数坂　昭夫 ／共訳  
出版者 技報堂出版
出版年 １９８５．１０
ページ数等 １４５ｐ
大きさ ２２ｃｍ
分類(9版) 534.93  
原書名 原書名：Ｖａｃｕｕｍ　ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，ｔｈｉｎ　ｆｉｌｍｓ，ａｎｄ　ｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇ　ａｎ　ｉｎｔｒｏｄｕｃｔｉｏｎ
テーマ 真空技術  
ISBN 4-7655-0358-5 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
定価 ￥２０００
本体価格 ￥２０００
特定資料種別 図書
URL https://www.library.city.hiroshima.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1100314937

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